特種氣體的介紹
主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下,通過化學反應得到氣體粗產(chǎn)品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產(chǎn)品精制成更高純度的產(chǎn)品。
應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
特種氣體管道的施工
施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點
焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣,經(jīng)檢查合格后方可進行焊接施工,合肥特種氣體,每天的施工結(jié)束后還必須做一個末試樣,以確認今天的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。每次電源變更的時候,都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數(shù)。每天的焊接試樣要妥善保存。(焊縫質(zhì)量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷)
特種氣體的分類
特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。同時,特種氣體價格,以上分類存在交叉,特種氣體廠,例如四氯1化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。
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